蒸发镀膜机
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1/人使用者
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3/次机时次数
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24/小时总时长
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0/次送样次数
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1/人收藏者
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收费标准
机时600元/小时 -
设备型号
AUTO306 -
当前状态
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管理员
姬濯宇 15313986379 -
放置地点
北京校区环境科学与工程学院G916
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
蒸发镀膜机
资产编号
YQ20211001075
型号
AUTO306
规格
AUTO306
产地
印度
厂家
印度HHV
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位
环境科学与工程学院
使用性质
科研
所属分类
工艺实验设备
资产负责人
姬濯宇
联系电话
15313986379
联系邮箱
53202455@ncepu.edu.cn
放置地点
北京校区环境科学与工程学院G916
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
" 基底尺寸：3英寸，4英寸，6英寸；
- 基底旋转：0~10rpm；
- 热蒸发源：电阻式热蒸发舟，交流电源；
- 腔体：不锈钢
- 泵：前级干泵，分子泵；
- Load Lock样品传输腔室：手动或自动传输，高真空，支持多种样品衬底(选配)；
- 工艺控制：PC/PLC机制的自动控制、数据处理、远程支持；
- 原位监控：石英晶振监测(QCM)，光学监测，残余气体分析，其他原位监测技术或控制；
- 衬底固定：单衬底固定，客户化衬底固定方式；
- 衬底夹具：加热，冷却，偏置，旋转等；"
- 基底旋转：0~10rpm；
- 热蒸发源：电阻式热蒸发舟，交流电源；
- 腔体：不锈钢
- 泵：前级干泵，分子泵；
- Load Lock样品传输腔室：手动或自动传输，高真空，支持多种样品衬底(选配)；
- 工艺控制：PC/PLC机制的自动控制、数据处理、远程支持；
- 原位监控：石英晶振监测(QCM)，光学监测，残余气体分析，其他原位监测技术或控制；
- 衬底固定：单衬底固定，客户化衬底固定方式；
- 衬底夹具：加热，冷却，偏置，旋转等；"
主要功能及特色
"OLED有机物蒸发源：
两组OLED有机物蒸发源，采用容量为2cc的氧化铝蒸发坩埚；
蒸发温度范围为50-600℃，K型热电偶与坩埚直接接触，精确闭环控温；
"
两组OLED有机物蒸发源，采用容量为2cc的氧化铝蒸发坩埚；
蒸发温度范围为50-600℃，K型热电偶与坩埚直接接触，精确闭环控温；
"
设备使用相关说明
提前联系53202455@ncepu.edu.cn
耗材自备。提前准备材料详细参数。
耗材自备。提前准备材料详细参数。
备注
收费标准定价说明：
收费项目 计费单位 价格 （元） 收费类型
贵金属蒸镀 元/10nm 500 材料费
普通金属及氧化物 元/小时 600 自助机时费
蒸镀Ag，Cu，W等 元/小时 550 自助机时费
校内样品8折
收费项目 计费单位 价格 （元） 收费类型
贵金属蒸镀 元/10nm 500 材料费
普通金属及氧化物 元/小时 600 自助机时费
蒸镀Ag，Cu，W等 元/小时 550 自助机时费
校内样品8折
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